CMP RETAINER RING
我司自行生產(chǎn)制造CMP RETAINER RING CMP保持環(huán)，半導(dǎo)體生產(chǎn)用化學(xué)機械研磨法用保持環(huán)
愛銳精密科技大連有限公司加工銷售半導(dǎo)體用高精密CMP RETAINER RING，CMP保持環(huán)備件產(chǎn)品，可提供美國應(yīng)用材料（AMAT），日本荏原（EBARA），SPEEDFAM， NOVELLUS，東京精密ACCRETEH等主要半導(dǎo)體設(shè)備商的及各小廠的6英寸，8英寸，12英寸的CMP RETAINER RING的反向設(shè)計及生產(chǎn)，精密高，產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定，世界各大廠商采用業(yè)績非富。
產(chǎn)品介紹：
AMAT設(shè)備為代理的樹脂與金屬結(jié)合型CMP RETAINER RING結(jié)構(gòu) |
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主要構(gòu)成： ?PPS樹脂部分 與原廠保持一致，根據(jù)客戶需要提供材質(zhì)。 其它材質(zhì)PEEK樹脂，PET樹脂等也有使用，請 咨詢。
?金屬部分采用不銹鋼材料 |
EBARA設(shè)備為代表為全樹脂型CMP RETAINER RING結(jié)構(gòu) |
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主要結(jié)構(gòu)： ?全PPS樹脂結(jié)構(gòu)，同樣采用以下三家廠商材料， 與原廠保持一致。 其它材質(zhì)PEEK樹脂，PET樹脂等也有使用，請 咨詢。 |
特殊鎢制程用PEEK材質(zhì)CMP RETAINER RING結(jié)構(gòu) |
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主要構(gòu)成： ?樹脂部分采用PEEK+40%炭素材料， 硬度與耐磨性較PPS要好，消耗亦減少。
?金屬部分采用不銹鋼材料。 |
產(chǎn)品主要特點：
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提供樹脂表面的鏡面拋光研磨： 此項服務(wù)可以讓最終用戶的DUMMY研磨時間降低，同時降低相關(guān)耗材的消耗，節(jié)約客戶成本，提供客戶生產(chǎn)效率。 上圖為表面鏡表研磨后采用特殊光學(xué)干涉檢查裝置，檢查拋光后的樹脂表面粗糙度照片，鏡表粗糙度（Mirror Surface roughness, ）控制在Ra 0.588~0.881 (μm) |
提供背部的金屬或樹脂的平行度研磨： 產(chǎn)品的上下表面的平行度會影響被研磨晶圓的精準度及晶圓加工過程中的各部位的研磨率，為保證被加工晶圓的精密度，出貨前做背部的平行研磨，車削產(chǎn)品件的精度平行度在50μm,背部平行研磨后的產(chǎn)品件的平行精度會隆到15μm，大大提高了被加工體的精密。 |
可以提供的相關(guān)規(guī)格
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200MM AMAT設(shè)備用 PPS與不銹鋼接合型 CMP RETAINER RING |
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200MM AMAT設(shè)備用 全PPS樹脂無溝槽型 CMP RETAINER RING |
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200MM AMAT設(shè)備用 PEEK+40%炭素材料 與不銹鋼接合有溝槽型 CMP RETAINER RING |
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200MM AMAT設(shè)備用 PEEK+40%炭素材料 與不銹鋼接合無溝槽型 CMP RETAINER RING |
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150MM 全PEEK+40%炭素材料 CMP RETAINER RING |
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200MM 全PEEK樹脂 CMP RETAINER RING |
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200MM 全PET材質(zhì)研磨用 CMP RETAINER RING |
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150MM 全PET材質(zhì)研磨用 CMP RETAINER RING |
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200MM 全PET-ETX 材質(zhì)研磨用 CMP RETAINER RING |
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200MM 全PBT材質(zhì)研磨用 CMP RETAINER RING |
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200MM NOVELLUS EXTENSION RING AURIGA SERIES 有溝槽系列 |
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200MM NOVELLUS EXTENSION RING AURIGA SERIES 無溝槽系列 |
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200MM NOVELLUS AURIGA GUIDE RING
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150MM NOVELLUS AURIGA GUIDE RING |
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300MM EBERA G3 全樹脂系列附密封橡膠 CMP RETAINER RING |
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200MM EBARA 全樹脂系列 CMP RETAINER RING |
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200MM EBARA 全樹脂系列 CMP RETAINER RING |
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150MM PETER WOLTER GUIDE RING |
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300MM AMAT設(shè)備用 PPS與不銹鋼接合型 CMP RETAINER RING |
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300MM EBARA G2 全樹脂系列 CMP RETAINER RING |
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300MM EBARA G2S 全樹脂系列 CMP RETAINER RING |
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300MM EBARA PEEK+40%炭素 CMP RETAINER RING |
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300MM AMAT MEMBRANE DIAPHRAGM |  |
200MM SPEEDFAM 776 DIAPHRAGM |
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200MM SPEEDFAM 776 DIAPHRAGM | 可以加工的設(shè)備商名： | AMAT(MIRRA, REFREXTION)， EBARA，NOVELLUS， ACCRETECH， SPEEDFAM， PETER WOLTER |
加工料號舉例（以下料號以外有大量生產(chǎn)實績）
300mm C-3812-378-0001
300mm C-3812-431-0001
200mm C-3812-393-0001
AMAT 300mm PPS + SUS 0040-62020
- AMAT 300mm Full PPS 0040-88203
- AMAT 200mm PEEK+40%C (no glove) 0040-33583
- AMAT 200mm PEEK+40%C 0040-51156
0040-94632
- AMAT 200mm Titan Head N 0040-79583
- AMAT 200mm Titan Head HE 0040-80952
- AMAT 200mm AEP 0040-77243
- AMAT 200mm AEP2 0040-78263
